:探访国家存储器基地芯片生产车间 洁净度超过手术室

2018-05-15 23:18 来源: 长江网-长江日报
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国家存储器基地项目(一期)一号芯片生产厂房蓝图。记者高勇 摄

  长江网5月15日讯(长江日报记者黄琪 通讯员刘刚建)15日,长江日报记者探访国家存储器基地芯片生产车间换装区,刚走到门口,记者就明显感到有股风迎面吹来。原来,这是洁净室内的排气系统利用风压,把风往外吹,这样就能把灰尘隔绝在外面。

  芯片就是在这样的无尘空间里生产出来的。车间的换装区洁净程度等级为Class10000,也就是说,每立方英尺内大于等于0.5um(微米)的灰尘颗粒不能超过10000颗。里面的生产区洁净度是Class100,与进行器官移植手术的最洁净的手术室相当。在芯片原材料——晶圆所暴露的直接生产区,洁净度是Class1,比手术室还洁净一百倍。

  这是全球单座洁净面积最大的3D闪存芯片生产厂房。“洁净室是按照全球最高标准建设的,只有这样的洁净室才能生产出我们需要的高质量芯片。”长江存储厂务部负责人张朝万说。

  芯片生产区域装配有空气循环系统,天花板上布满细密的小网格,这些是空气过滤器,脚下则是高架地板,气流从上到下流动,灰尘被带入地板下,空气经过滤处理后再循环至天花板。

  我国自主研发的第一批32层三维闪存芯片,今年内就要在这里量产。这个芯片耗资10亿美元,由1000人的团队用了两年时间研发出来,拥有完全自主知识产权。目前,64层的三维闪存芯片也正在紧锣密鼓地研发当中,有希望明年量产。这标志着中国企业在填补芯片领取空白迈出了重要一步,进一步拉近了我国在高端芯片领域与少数先进国家的距离。

责编:彭向东

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